Книга: Фомин Д. В. «Экспериментальные методы физики твердого тела»

Учебное пособие подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». Будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока.
Данное учебное пособие не претендует на энциклопедичность в рассматриваемой области знаний, поскольку в нем представлены экспериментальные методы физики твердого тела на основе приборной базы Амурского государственного университета. Тем не менее пособие охватывает большой спектр методов, построенных на использовании различных физических явлений. Таких как вторичная электронная эмиссия, дифракция, квантовые эффекты, взаимодействия поверхности с твердотельными нанозондами.
В пособии достаточно подробно рассмотрены вопросы, касающиеся работы со сверхвысоковакуумными установками, имеются схемы in-situ экспериментов.

Содержание:

Введение...... 3 Глава 1. Условия проведения экспериментов...... 8 Техника сверхвысокого вакуума...... 10 CBB системы откачки...... 10 Сверхвысоковакуумные камеры и фланцы...... 18 Приготовление атомарно-чистой поверхности...... 21 Эпитаксия...... 24 Техника термического осаждения в вакууме...... 28 Источники напыления...... 30 Измерители толщины пленок...... 34 Экспериментальные методы физики твердого тела...... 39 Глава 2. Методы исследования, построенные на явлении вторичной электронной эмиссии...... 42 Дифференциальный энергетический спектр вторичных электронов...... 45 Оже-электронная спектроскопия...... 46 Регистрация оже-электронов...... 53 Глубина выхода оже-электронов...... 54 Оже-анализ...... 55 Анализаторы энергии электронов...... 58 Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало...... 61 Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами...... 67 Анализ с помощью СХПЭЭ...... 73 Фотоэлектронная спектроскопия...... 76 Экспериментальное оборудование ФЭС...... 78 Анализ с помощью метода ФЭС...... 80 Растровая электронная микроскопия...... 85 Формирование электронного зонда...... 87 Детекторы вторичных сигналов в РЭМ...... 89 Взаимодействие электронного пучка с веществом...... 92 Основные механизмы упругих и неупругих потерь энергии электронов в веществе...... 93 Основные источники сигналов, используемых в РЭМ для формирования изображения...... 95 Область взаимодействия электронов зонда с веществом...... 102 Основные механизмы формирования изображения в РЭМ...... 105 Методы обработки видеосигнала в РЭМ...... 109 Глава 3. Методы исследования, построенные на явлении дифракции...... 114 Дифракция медленных электронов...... 115 Интерпретация картин ДМЭ...... 118 Дифракция быстрых электронов...... 128 Аппаратура ДБЭ...... 129 ДБЭ анализ...... 131 Дифракция рентгеновских лучей...... 134 Структурный анализ с помощью РД...... 137 Глава 4. Методы сканирующей зондовой микроскопии...... 140 Сканирующая туннельная микроскопия...... 142 Атомно-силовая микроскопия...... 149 Электросиловая и магнитно-силовая микроскопии...... 157 Аппаратура СЗМ...... 163 Глава 5. Методы исследования, построенные на квантовых эффектах...... 165 Электронный парамагнитный резонанс...... 165 Квантовомеханическая интерпретация ЭПР...... 166 Классическая интерпретация ЭПР...... 170 Устройство ЭПР спектрометров...... 173 Основные характеристики спектров ЭПР...... 176 Спектрометры электронного парамагнитного резонанса...... 181

Издательство: "Директ-Медиа" (2014)

ISBN: 9785447528294