Книга: Киреев В. «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы»
|
Серия: "мир электроники" Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств инедостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов. Издательство: "Техносфера" (2006) Формат: 60х90/16, 192 стр.
ISBN: 5-94836-039-3 |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Нанотехнологии в микроэлектронике Нанолитография - процессы и оборудование | В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей… — (формат: Твердая глянцевая, 320 стр.) Подробнее... | бумажная книга | ||
| Финансовая политика фирмы Учебное пособие | Рассматриваются различные бизнес-стратегии, способствующие улучшению финансового состояния предприятия… — (формат: Твердая глянцевая, 160 стр.) Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Киреев — КИРЕЕВСКИЙ Кирей производная форма имени Кирилл (с греческого маленький господин). В старину рассеянных дразнили; Эх ты, Кирей, не нашел дверей . (Ф) См. Кириллов Читатель из Тулы просит объяснить фамилию, которую носила его мать, ее предком был… … Русские фамилии
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (родился в 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип современного делового человека (антигероя). Поиски путей конкретного воплощения нравственных … Современная энциклопедия
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (род. 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип антигероя современного делового человека. Поиски путей конкретного воплощения нравственных… … Русская история
Киреев — Киреев, Иван Алексеевич … Морской биографический словарь
Киреев — (ж. р. ед. ч. Киреева; башк. Кирәев) татарская, башкирская и русская дворянская фамилия (см. Киреевы), а также топоним. Фамилия Киреев, Александр Алексеевич (1838 1910) русский генерал от кавалерии, публицист. Киреев, Александр… … Википедия
Киреев Н. П. — Николай Петрович Киреев (1843 1882) русский актёр и драматург. Закончил Константиновское военное училище. Был адъютантом начальника штаба стрелковых батальонов, герцога Мекленбург Стрелицкого; но скоро влечение к сцене пересилило, и Киреев… … Википедия
