Книга: Чистяков Ю., Райнова Ю. «Физико-химические основы технологии микроэлектроники»
|
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучающих технологию микроэлектроники, а также конструирование и технологию радиотехнических микроэлектронных устройств. На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химическийхарактер протекания различных процессов и качество получаемых изделий. Издательство: "Металлургия" (1979) Формат: 84x108/32, 408 стр.
Купить за 220 руб на Озоне |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|
См. также в других словарях:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА — область электроники, охватывающая проблемы создания электронных устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. В М. используются различные св ва тв. тела, особенно полупроводников, для создания функциональных блоков и узлов, связанных… … Физическая энциклопедия
ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… … Физическая энциклопедия
ФХОТМ — физико химические основы технологии микроэлектроники с 1967 по 1999 после: МПТЭ кафедра МИЭТ образование и наука, техн., физ., хим. Источник: http://www.miee.ru/struct/39/ … Словарь сокращений и аббревиатур
СССР. Технические науки — Авиационная наука и техника В дореволюционной России был построен ряд самолётов оригинальной конструкции. Свои самолёты создали (1909 1914) Я. М. Гаккель, Д. П. Григорович, В. А. Слесарев и др. Был построен 4 моторный самолёт… … Большая советская энциклопедия
СССР. Естественные науки — Математика Научные исследования в области математики начали проводиться в России с 18 в., когда членами Петербургской АН стали Л. Эйлер, Д. Бернулли и другие западноевропейские учёные. По замыслу Петра I академики иностранцы… … Большая советская энциклопедия
Госпремия РФ — Нагрудный знак лауреата Государственной премии Росиийской Федерации Государственная премия Российской Федерации присуждается с 1992 года Президентом Российской Федерации за вклад в развитие науки и техники, литературы и искусства, за выдающиеся… … Википедия
