Книга: «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты»

Серия: "Нанотехнологии"

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне c амостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники,...

Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2011)

Формат: 60x90/16, 256 стр.

ISBN: 978-5-9963-0336-6, 978-5-9963-0341-0

Купить за 234 руб на Озоне