Книга: З. Ю. Готра «Технология микроэлектронных устройств»
|
Серия: "Справочник" Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделеноконтролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Издательство: "Радио и связь" (1991) Формат: 60x90/16, 528 стр.
ISBN: 5-256-00699-1 Купить за 430 руб на Озоне |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|
См. также в других словарях:
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА — область электроники, охватывающая проблемы создания электронных устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. В М. используются различные св ва тв. тела, особенно полупроводников, для создания функциональных блоков и узлов, связанных… … Физическая энциклопедия
Enocean — В этой статье не хватает ссылок на источники информации. Информация должна быть проверяема, иначе она может быть поставлена под сомнение и удалена. Вы можете о … Википедия
микротехнология — Microtechnology Микротехнология Технология, оперирующая структурами, материалами и изделиями, имеющими микромасштабные размеры. Данная технология включает в себя методы, используемые для изготовления интегральных схем, дискретных… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
microtechnology — Microtechnology Микротехнология Технология, оперирующая структурами, материалами и изделиями, имеющими микромасштабные размеры. Данная технология включает в себя методы, используемые для изготовления интегральных схем, дискретных… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА — раздел физики, изучающий структуру и свойства твердых тел. Научные данные о микроструктуре твердых веществ и о физических и химических свойствах составляющих их атомов необходимы для разработки новых материалов и технических устройств. Физика… … Энциклопедия Кольера
