Книга: Акуленок М.В. «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2»
|
Серия: "Нанотехнологии" Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессывакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей. Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2011)
ISBN: 978-5-9963-0336-6 |
См. также в других словарях:
акуленок — сущ., кол во синонимов: 1 • акулёнок (1) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 … Словарь синонимов
Акуленок — акулёнок м. Детёныш акулы. Толковый словарь Ефремовой. Т. Ф. Ефремова. 2000 … Современный толковый словарь русского языка Ефремовой
акуленок — АКУЛЁНОК нка; мн. акулята, лят; м. Детёныш акулы … Энциклопедический словарь
УСКОРЕННАЯ ПОМОЩЬ (У.П.) — «УСКОРЕННАЯ ПОМОЩЬ (У.П.)», Россия Беларусь, ФИГПРОДАКШИОНС, 1999, цв. Минителесериал пародия. Пародия на сериал «Скорая помощь» и другие американские фильмы. В ролях: Игорь Фильченков, Олег Акулич, Елена Внукова (см. ВНУКОВА Елена), Сергей… … Энциклопедия кино
ЦВЕТЫ ОТ ПОБЕДИТЕЛЕЙ — «ЦВЕТЫ ОТ ПОБЕДИТЕЛЕЙ», Россия, КРУГ (кинокомпания «Мосфильм»), 1999, цв., 102 мин. Мелодрама. По мотивам романа Э. М. Ремарка «Три товарища». Трое друзей Пашка, Серега и Роман держат маленькую автомастерскую и много времени посвящают гонкам… … Энциклопедия кино
РАЗНОЗУБЫЕ АКУЛЫ — (бычьи акулы, рогатые акулы; Heterodontidae) единственное семейство отряда разнозубообразных акул (Heterodontiformes) надотряда акул (см. АКУЛЫ); включает около 10 видов. Длина короткого неуклюжего тела этих акул достигает 1,5 м. Массивная голова … Энциклопедический словарь
