Книга: Громов Д.Г. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие»

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Серия: "Вузовская и профессиональная литература. Информационные технологии"

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2014)

ISBN: 978-5-94774-904-5

См. также в других словарях:

  • Громов М. — Громов Михаил Леонидович М.Л. Громов в IHES, 2007 год Дата рождения: 23 декабря 1943 Место рождения …   Википедия

  • Громов М. Л. — Громов Михаил Леонидович М.Л. Громов в IHES, 2007 год Дата рождения: 23 декабря 1943 Место рождения …   Википедия

  • Громов — ГРОМЫКИН ГРОМЫКО ГРОМЫХАЛОВ Обычно Громовы потомки людей, отличавшихся сильными, громкими голосами. Известный летчик Герой Советского Союза М. М. Громов в своих воспоминаниях рассказывает, что унаследовал фамилию от предка крестьянина,… …   Русские фамилии

  • Громов А. — Громов, Алексей Алексеевич Дата рождения: 1960(1960) Громов Алексей Алексеевич (р. 1960 году в Загорске (Сергиев Посад) Московской области) российский политический деятель, Заместитель Руководителя Администрации Президента Российской Федерации.… …   Википедия

  • Громов А. А. — Громов, Алексей Алексеевич Дата рождения: 1960(1960) Громов Алексей Алексеевич (р. 1960 году в Загорске (Сергиев Посад) Московской области) российский политический деятель, Заместитель Руководителя Администрации Президента Российской Федерации.… …   Википедия

  • Громов А. М. — Громов, Алексей Матвеевич Алексей Матвеевич Громов (10 (22) апреля 1888, Москва 11 декабря 1937, там же) русский прозаик, журналист, художник график. Биография Сын учителя. Окончил 8 ю московскую гимназию (1907). С 1905 года начал участвовать в… …   Википедия

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»